主要特點:
▏In-Feed磨削方式。
▏精密進口滾珠絲桿、直線導軌,Z向精密控制, 高精度
機臺長時間保持。
▏ 雙主軸,三工作盤,加工效率高。
▏ 全自動上下料、傳輸定位、清洗 干燥,實現全自動運行
模式,大大降低OP工作量。
▏ 穩定的超薄減薄加工。
▏ 兼容性好,與市面上的其他類型設備,關鍵耗材兼容性高。
▏ 便捷的操作與人機交互界面
先進功能:
應用:
主要用于4-8英寸半導體晶圓的全自動減薄加工,適用于特定半導體等材料。
技術指標:
使用條件:
? 請使用大氣壓露點在-15 ℃以下殘余油分為0.1ppm,過濾度在0.01 μm/99.5 %以上的清潔壓縮空氣。
? 請將放置機械設備的房間室溫設定在20 ℃?25℃之間,并將波動范圍控制在±1 ℃以內。
? 請將切削水的水溫控制為室溫+2 ℃(變化波動范圍在±1 ℃以內),將冷卻水的水溫控制為與室溫相同(變化波動范圍在±1 ℃以內)。
? 其他,請避免設備受到撞擊及外界的有感振動。另外,請不要將設備安裝在鼓風機、通風口、產生高溫的裝置及產生油霧的裝置附近。
? 本設備會使用水。萬一發生漏水影響,請把本設備安裝在有防水性之地板及有排水處理之場所。
? (*)為非標準配置。
常熟總部:
電話:400-9280188
地址:江蘇常熟經濟技術開發區海城工業坊9棟
郵箱:support@jcxj.com.cn
網址:http://www.yslx8.com